ナノメトリックセンサー

◆ 정전 용량식 센스의 측정원리
정전용량식 센스는 피측정물과 프로브사이에 생기는 정전용량을  
검출하는 장치로 대향하는 도체가 평행평판인 경우는 근이적으로 아래의
용량검출식으로 나타낼수가 있습니다。

실제 프로브에 있어서는 2개의 전극판의 전계에 의한 전기력선이 균일하게 되도록  
전극의 주위에 전극을 놓고 、같은 전위을 가해서 측정 전극의 단효과을 방지하는 식이 성립할수 있도록 하고 있습니다。

◆ 변위와 출력전압의 관계
  변위（Ｄ）가 작게되면 출력전압치는 플러스 방향으로 증가합니다。