ナノメトリックセンサー


<100℃
측정 파형 ・ 데이터> ・・・ Model 212HS (고감도 ・ 광온도 대응형)

 

◆

실온 환경 및 광 온도 환경하에서의 회전 파형과 고정 지그을  포함한 열변위 (膨張) 데이터 입니다。
고온에서도 안정하게 측정을 할 수가 있습니다。

 

변위계

: Model 212(고감도형)+611L-1프로브

설정 거리

: 100±50μm

감도

: 200mV / μm

고정 지그재료

: SUS304

 

2.5 인치 스핀들 모터 , Radial의 흔들림(RRO)

 

 

室温 (23℃) 

オーブン (100℃)

測定波形

測定波形

고온도 환경에서의 출력 데이터

 

 

설정 조건 :

1샘플  / 1分





 


<
장시간 드리프트 데이터> ・・・ Model 212 (고안정도  ・ 다찬넬 대응형)

 

◆

온도 드리프트을 대폭적으로 개량하고 、장시간 안정 측정이 요구되는 각종 제어 ・ 위치 결정  ・ 엣지 검출에 최적입니다。

온도 드리프트 : 0.01% F.S / ℃

변위계

: Model 212(고안정도형)+614A-1프로브

설정 거리

: 100±50μm

감도

: 200mV / μm

고정 지그 재료

: SUS304

X-Y 레코드

: Y軸 = 500mV/F.S
  X軸 = 50mm/H

 

실온(약23℃)방치 데이터

 

 




 

온도 변화에 의한 드리프트

 

 

23℃

→

28℃

→

33℃