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<회전체 런아우트 측정 ・ 진동
측정>
・・・ Model 211 (고속 ・ 고분해능형)
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회전체의 런아우트 측정 |
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회전체의
평가에는
실제의
동작상태에서
각점의
흔들림을
측정하는
것이
필요합니다
- RRO=Repeatable RunOut
반복
흔들림:1회전중에 있어서 흔들림의
量(P-P)
- NRRO=Non
Repeatable RunOut
비반복
흔들림:수십회 회전시켯을때의 흔들림의 폭
측정 대상
예
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진동
측정 |
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정전용량식 변위계와 오실로스코프、FFT등에서 고속
진농을 측정합니다 |
- 스피커
- 압전소자
- 피에조
소자
- 세라믹
진동판
- 초음파 진동
소자
- 충격진동
- 각종 스테이지의
진동
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<스테이지 위치
결정>
・・・ Model 212 (고안정도형)
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위치
결정 |
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정전용량식 변위계에서 이동 거리을 측정하고 위치을 정확하게 콘트롤 합니다
- 피에조 엑츄어터
- XY
스테이지
- 웨이퍼
스테이지
- 자동 집점 장치
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