ナノメトリックセンサー


회전체 런아우트 측정진동 측정・・・ Model 211 (고속 고분해능형

회전체의 런아우트 측정

 

 

회전체의 평가에는 실제의 동작상태에서 각점의 흔들림을 측정하는 것이 필요합니다

  • RRO=Repeatable RunOut
    반복 흔들림1회전중에 있어서 흔들림의 (P-P)
  • NRRO=Non Repeatable RunOut
    비반복 흔들림수십회 회전시켯을때의 흔들림의 폭


측정 대상 예

測定対象例

 

진동 측정

 

 

정전용량식 변위계와 오실로스코프FFT등에서 고속 진농을 측정합니다

  • 스피커
  • 압전소자
  • 피에조 소자
  • 세라믹 진동판
  • 초음파 진동 소자
  • 충격진동
  • 각종 스테이지의 진동

 

振動測定

 

 



스테이지 위치 결정・・・ Model 212 (고안정도형

위치 결정

 

 

정전용량식 변위계에서 이동 거리을 측정하고 위치을 정확하게 콘트롤 합니다

  • 피에조 엑츄어터
  • XY 스테이지
  • 웨이퍼 스테이지
  • 자동 집점 장치

測定対象例