ナノメトリックセンサー

 

 



나노 메트릭 센스
특허 출원중

고안정성의 추구와 고온 환경하에서의 회전체 런아우트중심 흔들림측정을
다이나믹하게 측정 가능하게 한 변위계

 

 

Model 212은 용도에 따라서 2종류가 있습니다

Model 212HS

고감도광온도 대응형
-30℃에서 100℃광온도 범위에서 측정이 가능합니다

Model 212LD

고안정도형유니트형챤넬대응형
온도 드리프트가 작고0.01%F.S/℃)、유니트형은 장치에 삽입이 가능합니다
나노 테크놀로지의 진화와 함께 금속부품의 열변위 측정에도 최적입니다

 


나노 메트릭 센스  Model 212HS (고감도광온도 대응형

Model 212

 

하드 디스크광디스크등에 사용되고 있는 초정밀 모터등의 고속고정밀도에서 회전하는 회전체의 런아우트 RRO, NRRO)측정이 100℃의 온도 환경에서 관측할수 있습니다

고정밀도 스핀들 모터의 런아우트RRO, NRRO)측정부상량 측정이 -30℃~100℃광온도 환경에서 관측을 할 수가 있습니다


주된 특징

  • 고정밀도고분해능고리니아리티
  • 고감도형온도범위-30℃~100℃)
  • 각종 형상 플로브의 제작이 가능합니다

 


부속 데이터  100℃ 측정 파형   데이터


성능

방식

정전용량

츨력전압

±10V F.S

정확도

±1% F.S (23±3, 85% R.H)

응답 주파수

DC5KHz (-3dB) 2KHz, 200Hz 切替可能

출력저항

100Ω

출력표시

아날로그 메터

전원

AC100V±10% 50/60Hz 約 10W



프로브 사양

프로브

611L-1

환경조건

-30℃~100 95%R.H 以下

외형

φ16mm

측정전극

矩形 0.37 X 2mm

측정범위

100±50μm

출력전압변동 가능

±10V

감도

200mv/μm

정확도

±1%F.S (23±5)

분해능 p-p

5KHz

30nm

2KHz

15nm

200Hz

5nm

20Hz

------

케이블 길이

1.5m

 


 

나노 매트릭 센스  Model 212LD (고안정도형유니트형다찬넬 대응형

Model 212

 

드리프트가 적고 안정한 측정에 편리한 제품입니다

서보 제어 웨이퍼 프로브,피에조 구동 테이블엣지검출고정밀도 위치 결정 장치에 최적입니다
본체 형상으로서 케이스형유니트형이 있습니다

유니트을 스롯트 형상으로 해서 다찬넬을 합쳐서 케이스에 수납할 수가 있습니다。(다찬넬 대응형


주된 특징

  • 고정밀도고분해능리니아리티
  • 고안정도형온도 드리프트 0.01%F.S/℃)
  • 각종 형상 프로브의 제작이 가능합니다


부속 데이터장시간 드리프트 데이터

Model 212LD
은 다음의 2 Type로 판매할 수가 있습니다

Model 212LD
고안정도형

Model 212U
(
고안정도 유니트형  



사양

방식

정전용량

출력전압

±10V F.S

정확도

±1% F.S (23±3, 85% R.H)

응답 주파수

DC2KHz (-3dB) 200Hz, 20Hz 절환 가능

출력 저항

100Ω

출력 표시

アナログメータ

전원

AC100V±10% 50/60Hz 10W



프로브 사양

프로브

614A-1

환경 조건

23±3, 85% R.H 以下

외형

φ16mm (φ10mm --- Option)

측정 전극

φ1.8mm

측정 범위

100±50μm

출력 전압변경 가능

±10V

감도

200mv/μm

정확도

±0.2%F.S (23±5)

분해능 p-p

5KHz

------

2KHz

15nm

200Hz

5nm

20Hz

1nm

케이블 길이

1.5m