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  나노 메트릭 센스 란?
물체의 극히 미세한 움직임(변위)을 물체에 첩촉하지 않고 측정하는 계측기입니다。
측정방법은 물체 가까이에 프로브을 놓고,물체의 변위을
정전용량의 변위로 바꾸어 검출합니다.
 
     
 

정전용량식의 특징

-1나노메터(1/106mm) 의 미소한 움직임(변위)까지 측정할수 있습니다
-다른 방식(레이져、소용돌이 방식etc)에 비교하여 수10배의 감도을 갖고 있습니다.
-측정 대상이 금속、도체라면 재질에 의한 영향은 없습니다.
-그라스、플라스틱등의 비금속 재질도 감도을 교정해서 측정이 가능합니다

 
     
  정전용량식 센스의 측정원리  
     
  ◆ 나노 메트릭 센스에는 용도에 따라 3가지 모델이 있습니다.  
 

Model 211

Model 212 (特許出願中)

Model 212-3

Model 211

Model 212

Model 213

 
 
Model 211

 

노이즈 레벨을 대폭적으로 저감하고초고분해능 (1나노 메터 P-P)、고속응답(20KHz、옵션으로 500KHz  변위계

Model 212

 

고안정성의 추구와 고온 환경하에서의 회전체 아우트(芯 흔들림측정을다이나믹하게 측정 가능하게하는 변위계

Model 212-3

 

고안정성을 추구한 소형 3CH극세 형상 프로브을 채용하여초정밀소형 모터의  Z-H F-H 등의 다점 측정 및 초정밀 이동 스테이지의 XYZ축의 위치 측정을 가능하게한 변위계

 
     
 
변위계는 앰프와 프로브로 구성이 되어 있습니다
이 미소세한 움직임의  측정을 가능하게 위해서는 본체와 더불어 、각종 형상의 프로브 개발제조에도 전력을다하고 있습니다

 

예)프로브 형상

극세 프로브 형상
(Model 212 212-3대응)

 
     
 
나노 메트릭 센스의 특징

 

  • 초고분해능
  • 고감도고정밀도고리니알리티
  • 고속응답주파수옵션 500KHz)
  • 저온고온환경대응-30~100℃
    (Model 212HS
    고감도형
  • 고안정도온도드리후트) : 0.01%F.S/℃
    Model 212LD 高安定度型)
  • 진공 챔버 대응Model 212형 프로브
  • 각종 형상 프로브의 제작이 가능합니다
DISK

 

주의

 

분해능의 카타로그 수치는 노이즈 환산 수치을 P-P 표시하고 있습니다。

 

 

참고

 

1nm/P-P 0.15nm/rms
6.7nm/P-P 1nm/rms 

 

 
     
  용도  
 
회전체、축흔들림・ 면흔들림 측정

 

스핀들 모터、소형모터、각종 드름、에어 스핀들 모터、폴리콘 밀러 、하드 디스크、광디스크

 

진동 측정

 

초음파 진동 소자、압전소자피에조소자、악기 현진동、기계진동、교통진동

 

위치 결정 측정

 

각종 구동 테이블、각종 엣지 검출

 

그외 측정 구께、금속원통(내경 외경 진원도)、함수율

 

 
     
 

응용 예의 측정 데이터
다음과 같은 상세한 응용예의 측정 데이터는 아래을 보면 됩니다.

 
     
   현재위치 : HOME > 제품소개  >  
PCB가공시스템 (18) PCB샘플 제작라인 (13) 3D 프린트 (12) 정전용량식 비접촉 변위계 (0)
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